湾芯展批量新品集中亮相 中微公司、华海清科、微导纳米等国产半导体设备发力高端化

今年湾芯展上一批国产半导体设备、材料、工具新品集中亮相，国产设备持续向高端领域突破。中微公司推介最新发布的两款高端半导体微观加工设备；华海清科发布中束流离子注入机产品；微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。